太阳能行业专用三氯氢硅脱硼磷吸附剂

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申昙集团

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ZA-100介绍

在“双碳”背景下，下游光伏行业的高速发展，多晶硅厂商需求旺盛，三氯氢硅是制造多晶硅的主要原料。生产高纯多晶硅的生产路线有西门子法、改良西门子法、硅烷流化法、冶金法（物理法）等，改良西门子法安全环保，是应用最广的多晶硅生产工艺路线。改良西门子法技术成熟，产品质量最高，可以达到电子级多晶硅的纯度。

西门子法的原理是在1100℃左右的高纯硅芯上，用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子法则在传统西门子法工艺的基础上，增加了尾气干法回收和四氯化硅再利用技术，实现了完全闭路的循环生产，从而在保证产出高品质的同时，明显降低原辅材料及能源的消耗，降低生产成本。目前，改良西门子法是生产多晶硅的主流技术，产量占比超过97%。改良西门子法生产流程如下：

三氯氢硅在反应过程中提供“氯”去除金属硅中的Cu、Fe、Al等杂质，因此被不断消耗，是生产多晶硅的必备原料。另外，根据三孚股份的投资者关系活动表披露，在开机阶段，多晶硅厂商每新增1吨多晶硅产能，需一次性投入三氯氢硅约0.2吨以补液位和清洗系统；在生产阶段，多晶硅厂商每生产1吨多晶硅，需消耗三氯氢硅0.3~0.5吨以补充循环系统的损耗。

根据国家标准GB/T28654-2018《工业三氯氢硅》，工业三氯氢硅分为I、II两类，其中I类用于生产多晶硅，II类用于生产硅烷偶联剂。用于多晶硅生产的I类三氯氢硅对纯度和杂质要求更高，尤其在铝、硼、磷、铁等杂质和总碳上有严格控制，而实际生产企业为追求更高的产品质量，会对杂质提出更苛刻的指标要求。

很多企业会采用精馏法脱除三氯氢硅中硼、磷等杂质，为达到更高的质量要求，也会采用吸附法将杂质脱除到更低的水平。目前较多企业采用树脂吸附剂，通过在树脂上负载某种多羟基化合物，与硼、磷等杂质络合，从而达到脱除杂质的目的。但树脂吸附剂通常存在以下缺点：

1、容易老化堵孔隙，不易清理；

2、由于羟基、硝基的原因，存在燃爆的隐患。

申昙新材料公司根据三氯氢硅的应用场景，研发了ZA-100型脱硼、脱磷吸附剂，并于2015年在工业装置上取得了成功应用。ZA-100是一款高性能吸附剂，主要应用于硅烷气、二氯氢硅、三氯氢硅等单晶硅、多晶硅、颗粒硅生产工艺气体净化脱除硼、磷、锗、砷等杂质。ZA-100采用条形，通常直径为1-3mm，长度5-10mm。